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PVD是什么意思_物理氣相沉積

287 人參與  2022年07月27日 11:01  分類 : 化學(xué)知識  評論

PVD是什么意思

氣相沉積的基本過程包括三個(gè)步驟:即提供氣相鍍料;鍍料向所鍍制的工件(或基片)輸送;鍍料沉積在基片上構(gòu)成膜層。

沉積過程中若沉積粒子來源于化合物的氣相分解反應(yīng),則稱為化學(xué)氣相沉積(CVD),否則稱為物理氣相沉積(PVD)。


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