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CVD是什么意思_化學(xué)氣相沉積(CVD)

324 人參與  2022年07月28日 09:06  分類(lèi) : 化學(xué)知識(shí)  評(píng)論

CVD是什么意思

氣相沉積過(guò)枵的基本步驟與物理氣相沉枳不同的是:沉積粒子來(lái)源于化合物的氣相分解反應(yīng)。可定義為在相當(dāng)島的溫度下,混合氣體與基體的表面相互作用,使混合氣體中的某些成分分解,并在基體上形成一種金鉺或化合物的閡態(tài)薄膜或鍍層。

通常CVD的反應(yīng)溫度范圍大約900至2000攝氏度:,它取決于沉積物的特性。中溫CVO(MTCVD)的典型反應(yīng)溫度大約500至800攝氏度,它通常是通過(guò)金屬有機(jī)化合物在較低溫度的分解來(lái)實(shí)現(xiàn)的,所以又稱(chēng)金屬有機(jī)化合物CVD(MOCVD)。等離子體增強(qiáng)CVD(PCVD)以及瀲光CVD(LCVD)中氣相化學(xué)反應(yīng)由于等離子體的產(chǎn)生或激光的輻照得以激活也可以把反應(yīng)溫度降低。


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