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M〇CVD是什么意思_金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積

331 人參與  2022年07月29日 11:31  分類 : 化學(xué)知識  評論

M〇CVD是什么意思

MOCVD是常規(guī)CVD技術(shù)的發(fā)展。M〇CVD用在相當(dāng)?shù)偷臏囟认履芊纸獾慕饘儆袡C化合物作初始反應(yīng)物。MOCVD的優(yōu)點是可以在熱敏感的基體上進行沉積;其缺點是沉積速率低、晶體缺陷密度高、膜中雜質(zhì)多。

在這種技術(shù)中把欲鍍膜層的一種或幾種組分以金屬烷基化合物的形式輸送到反應(yīng)區(qū)，而其它的組分可以氫化物的形式輸送。其它的初始反應(yīng)物，如氯貨換的金屬烷基化合物或配位化合物也可采用。

MOCVD技術(shù)的開發(fā)是由于半導(dǎo)體外延沉積需要，也曾用M〇CVD沉積金屬鍍層.這是因為某些金屬鹵化物在高溫下是穩(wěn)定的而用常規(guī)CVD難以實現(xiàn)其沉積此外，已經(jīng)用金屬有機化合物沉積了氧化物、氮化物、碳化物和硅化物鍍層。許多金屬有機化合物在中溫分解，可以沉積在如鋼這樣一類的基體上。所以這項技術(shù)也被稱為中溫CVD，M〇CVD。


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