硅片的制備，切片磨片和拋光方法簡介
粗磨：用熔化的石蠟和松香（2:1)將硅圓片平整地粘附在鋁板上，冷卻后，輕輕地括去鋁板和硅片上多余的石蠟松香。然后,在玻璃板上用303號金剛砂加一些水研磨之。粗磨的主要目的是把各個硅片都研磨到同一平面上。因此，粗磨到各片都處于同一平面時，即可轉(zhuǎn)入細磨。

細磨：粗磨后各片都處于同一平面了，但是，粗磨磨料的顆粒度很大，粗磨后的硅表面還是比較粗糙的，如果馬上進行拋光的話，需要很長的時間，才能拋好。細磨就是用顆粒度較小的磨料研磨硅片，使之表面光滑些，從而縮短拋光時間。細磨前先要用自來水沖洗去粗磨的金剛砂，再用305號顆粒度較小的金剛砂研磨之。細磨后的硅片表面應無劃痕。
粗拋：用自來水沖掉片子上殘留的金剛砂，然后裝在拋光機上進行拋光。拋光液為1:75的氧化鎂水溶液，拋光布用呢或氈都可以。拋光時間一般為四至五小時。

細拋：用絲絨拋光五至六小時。

拋光結(jié)束后，用自來水沖洗片子，徹底地清除片子上殘存的氧化鎂,然后再用熱水熔化石蠟松香，使片子從鋁板上脫落下來。隨即用洗液燒煮數(shù)次，然后,再用大量去離子水沖洗，最后進行干燥,仔細保藏。
良好的拋光表面應是光亮如鏡，并且無劃痕、麻點、桔皮、倒角等毛病。

氧化鎂拋光液呈很弱的堿性，對硅片有微弱的腐蝕作用。溫度較髙時，腐蝕作用加劇會產(chǎn)生泡沫，影響拋光質(zhì)最。所以，在炎熱的夏天拋光時，氧化鎂要用冰冷卻。在常溫，氧化鎂對硅片的腐蝕作用雖很弱。但是，如果拋光后殘留的氧化鎂未沖洗掉,時間一長，也會對硅片表面產(chǎn)生腐蝕作用。因此，一定要將拋光后殘留的氧化鎂沖洗干凈。