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硅片拋光質(zhì)量不好會對MOS場效應(yīng)管的性能產(chǎn)生什么影響？

1008 人參與  2018年08月19日 22:23  分類 : 機械五金查詢手冊  評論

硅片拋光質(zhì)量不好會對MOS場效應(yīng)管的性能產(chǎn)生什么影響？

首先，如果硅片表面不平,在光刻曝光時就只有硅片表面的突起部分與版子接觸，其他部分無法與版子貼緊，這就會造成光刻圖形不清、窗孔縮小、線條間斷等毛病。其次，在硅片的切割、粗磨等過程中，強烈的機械作用將在硅片表面造成許多缺陷。這些缺陷如果在以后的拋光過程中沒有逐步減小、除盡，那就很難在這樣的片子上做出性能良好的結(jié)。表面缺陷的存在還會使載流子的表面遷移率降低。因此，研磨、拋光乍看起來雖然簡單.但仍是必須認真掌握的一個重要工序，稍一疏忽，整批片子一開始就會大受損傷。反映在MOS場效應(yīng)管的電性能上就會出現(xiàn)夾斷特性不好(泄漏電流大)、噪聲大、源漏耐壓低、飽和電流大、夾斷電壓高等弊病。

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