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真空蒸發(fā)用理與裝置

1143 人參與  2018年06月13日 21:32  分類 : 機械五金查詢手冊  評論

真空蒸發(fā)用理與裝置

為了獲得金屬蒸發(fā)薄膜，必須使金屬材料變成蒸氣原子（通常還要經(jīng)過液態(tài)階段），這時的溫度大都在1000攝氏度以上。金屬原子從蒸發(fā)源出發(fā)，應不經(jīng)碰揸地達到基體表面。因此，要求真空室中殘余氣休分子的平均自由程大大超過蒸發(fā)源到基體表面之間的距離，也就是說要求高真空。除了少數(shù)貴金屬外，高溫下金屬極易氧化，同時蒸發(fā)金屬膜還易吸附殘余氣體分子，使膜層純度下降，從而導致電性能變壞。另外，金屬材料的固態(tài)一液態(tài)一氣態(tài)的變化和固態(tài)一氣態(tài)的變化與其蒸發(fā)溫度和外界的氣壓有密切關系。如果外界氣壓很高，則必須提高蒸發(fā)源的蒸發(fā)溫度，才能得到相應的飽和蒸氣壓。而提高蒸發(fā)源的溫度必然帶來一系列困難。所以，往往采用降低外界氣壓的方法，在蒸發(fā)源的蒸發(fā)溫度比較低的情況下，得到所需要的飽和蒸氣壓。


綜上所述，為了得到高純度、性能良好的金屬薄膜，一般是在高真空裝置中，高溫加熱金屬或合金材料，使其蒸發(fā)，并沉積在基體表面上形成薄膜。這種方法稱為真空蒸發(fā)法或簡稱蒸發(fā)法。


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