蒸發(fā)環(huán)境和汽化過程

在蒸發(fā)裝置的真空鍍膜室內(nèi)，將蒸發(fā)材料加熱汽化,并沉積在基體上，形成薄膜。

真空蒸發(fā)裝置由鍍膜工作室、真空系統(tǒng)、鐘罩升降系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)、安全保護(hù)裝置、操作系統(tǒng)和電氣控制系統(tǒng)組成。

(1) 鍍膜工作室為蒸發(fā)過程提供了相應(yīng)的環(huán)境，鍍膜工作室包括鐘罩、離子轟擊電極、低壓蒸發(fā)電極、蒸發(fā)源、基片架、加熱罩等。

(2) 真空系統(tǒng)可分為高真空系統(tǒng)與低真空系統(tǒng)兩部分。除了真空閥、管道之外，主要由機(jī)械真空泵和金S油擴(kuò)散泵組成。-?般采用熱電偶電離復(fù)合真空計測貴真空度。

(3) 升降系統(tǒng)可采用液壓系統(tǒng)、氣壓系統(tǒng)或渦輪箱來操作鐘罩升降。

(4) 膜厚測量系統(tǒng)可采用石英晶體監(jiān)控器、光學(xué)監(jiān)控器或電學(xué)監(jiān)控器等測量其膜厚。

(5>安全保護(hù)裝置包括高壓保護(hù)開關(guān)、油擴(kuò)散泵斷水自動醬報器以及升降系統(tǒng)保護(hù)裝置、防展裝置等。

(6) 操作系統(tǒng)包活位于整個裝置面板上的各種手柄、手輪、按鈕及開關(guān)等。

(7) 電氣控制系統(tǒng)包括該裝置的全部電氣裝黃與控制系統(tǒng)，如高壓、低壓變壓器、機(jī)械泵的電動機(jī)等。

真空鍍膜室為沉積薄膜提供了蒸發(fā)環(huán)境。當(dāng)物質(zhì)加熱汽化時，其飽和蒸氣壓與溫度有關(guān)，溫度升高，飽和蒸氣壓增大。在一定源度下，飽和蒸氣壓具有一定的值，反之，一定的飽和蒸氣壓對應(yīng)一定的溫度。通常規(guī)定，某一物質(zhì)的飽和蒸氣壓達(dá)10-2托時的溫度稱為該物質(zhì)的蒸發(fā)溫度。

用來測量壓力的單位有：

1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760托=101325帕，

1帕=1牛/米2。