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傳感器的種類很多,一般可以將傳感器分為物理,化學(xué),和生物傳感器,傳感器的用途廣泛,形式多樣,所以分類也很多,壓力傳感器就是其中比較常見的一種,
壓力是一個(gè)很常用的基本參數(shù),隨著科技的發(fā)展,出現(xiàn)了很多種的壓力傳感器,在進(jìn)行動(dòng)態(tài)壓力測量中,首先就要把被測定的壓力參數(shù)變?yōu)殡娏浚@個(gè)任務(wù)就是由壓力傳感器來完成的。壓力傳感器是工業(yè)生產(chǎn)中最為常用的一種傳感器之一,應(yīng)用十分的廣泛。
壓力傳感器工作原理
壓力傳感器一般可以分為擴(kuò)散硅壓力變送器,半導(dǎo)體壓電阻型壓力傳感器,靜電容量型壓力傳感器。
壓阻式壓力傳感器是利用了吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象這一特點(diǎn)而形成的壓力傳感器。
陶瓷壓力傳感器和擴(kuò)散硅壓力傳感器都是利用了壓阻效應(yīng)的原理。
藍(lán)寶石壓力傳感器是利用了應(yīng)變電阻式的工作原理,利用硅-藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體的敏感元件而制成。
壓電式壓力傳感器則是利用了壓電效應(yīng)而制成的。
半導(dǎo)體壓力傳感器的基本原理就是利用了硅晶體的壓阻效應(yīng)而制成的,現(xiàn)在,壓阻型的壓力傳感器的制造工藝成熟,而且可以很好的與集成電路工藝相兼容,可以在芯片上制備各種的電路,而且還可以配合溫度補(bǔ)嘗技術(shù)來克服半導(dǎo)體器件溫度影響比較大的弱點(diǎn),現(xiàn)在,已經(jīng)可以制造出溫漂比較小,而且靈敏度很高的,工作穩(wěn)定,體積很小的壓力傳感器。
早上上世紀(jì)30年代時(shí),因?yàn)橛^察到了流體靜壓力對于金屬多晶的電阻有影響而發(fā)現(xiàn)了壓阻效應(yīng),到了上世紀(jì)50年代時(shí),對于鍺和硅中的壓阻效應(yīng)又作了研究,從而測定了主要晶向的壓阻效應(yīng)而且給出了比較完整的壓阻系數(shù)張量。
當(dāng)需要在某段時(shí)間內(nèi)連續(xù)記錄正在變化的壓強(qiáng)時(shí),一般可以采用氣壓記錄儀這種簡單的器件,但是當(dāng)氣壓迅速變化時(shí),這種比較簡單的氣壓記錄儀就變得不實(shí)用了,這時(shí)就需要采用靈敏度比較高的器件,壓力傳感器,壓力傳感器可以取出壓強(qiáng)信息,而且可以產(chǎn)生與壓強(qiáng)成正比的輸出電信號。
在有一些壓力傳感器中,流體壓力作用在膜片上面,而膜片與電阻應(yīng)變儀相匹配,由于壓旨變化使得膜片拉伸,從而引起了應(yīng)變儀的電阻變化,借助于適當(dāng)?shù)碾娐?,這一電阻變化就可以產(chǎn)生出正比于流體壓強(qiáng)的電壓,這樣就可以將此電壓輸入示波器或是控制器中了。
本文標(biāo)簽:物理
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