光刻膠又名光致抗蝕劑，分為負(fù)性膠和正性膠。

微電子技術(shù)可算得上是人類有史以來最卓越的技術(shù)。微電子技術(shù)的發(fā)展迅猛異常，迄今為止，在人類的科學(xué)技術(shù)史上還沒有一種技術(shù)像它這樣真正做到日新月異。由于它的發(fā)展，電子計(jì)算機(jī)也以極快的速度更新?lián)Q代?，F(xiàn)在電子計(jì)算機(jī)已進(jìn)入千家萬戶，成為家用電器的一部分，它的影響已遍及每一個(gè)經(jīng)濟(jì)領(lǐng)域和人們生活的每一個(gè)方面。其中光敏高分子對(duì)微電子技術(shù)的發(fā)展起著十分歌要的作用，光刻和光刻膠（光致抗蝕劑>是微電子技術(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)和關(guān)鍵材料。

光刻膠是什么材料

光刻最重要的材料便是叫光刻膠或光致抗蝕劑的光敏高分子化合物，光刻得到正圖形的光刻膠稱正性光刻膠，它受光照時(shí)發(fā)生了分解反應(yīng)；光刻得到負(fù)圖形的為負(fù)件光刻膠，它受光照吋發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)。在早期的光刻中主要有二種類型的光刻膠，它們是聚乙烯醇肉桂酸酯型、橡膠-疊氮型和鄰醌重氮型。1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工業(yè)的，以后才用于電子工業(yè)。

化學(xué)增輻光刻膠的最重要的特點(diǎn)是可以大大提高光刻膠對(duì)深紫外光、X光和電子束等光刻膠的靈敏度，其原因是因?yàn)楣饣瘜W(xué)反成的原理有了變化。原來的各種光刻晈在光照射時(shí)發(fā)牛的化學(xué)反應(yīng)是化學(xué)計(jì)量式的，也就是吸收一個(gè)光子最多只能發(fā)牛.一個(gè)反應(yīng)。比如鄰醌重氮光刻膠吸收一個(gè)光子，只能使一個(gè)鄰醌取氮簞發(fā)生重排反應(yīng)，而且被吸收的光子并不是每一個(gè)都能引起化學(xué)反應(yīng)的，有的會(huì)因放出熒光或磷光向消失，因此這種光化學(xué)反成的效率很低：化學(xué)增輻光刻膠在受光照時(shí)不是直接引起交聯(lián)或分解反應(yīng)，而是產(chǎn)生一種催化劑，光刻膠的交聯(lián)、分解反應(yīng)可以在催化劑的作用下迅速完成。